高純氣體中央供氣系統(tǒng)是專為高精度分析測試設(shè)備所用高純工作氣體的傳輸而設(shè)計(jì)，系統(tǒng)需要為分析設(shè)備提供壓力、流量穩(wěn)定且經(jīng)過長距離傳輸后純度不變的高純氣體以滿足各種高精度分析設(shè)備的使用要求。系統(tǒng)同時還應(yīng)該滿足安全性的要求，并方便客戶的日常使用及管理。

一、氣瓶間布局

1．由于存放的氣體由于有可燃性氣體和助燃?xì)怏w，按國家規(guī)定必須分庫存放。分別放入不同的氣瓶間內(nèi)。

2．氣瓶間內(nèi)設(shè)立一次調(diào)壓面板，其中二托一面板帶吹掃銅鍍鉻面板4套。

3．壓力調(diào)節(jié)器入口前需加裝燒結(jié)金屬過濾器以防止顆粒等雜質(zhì)污染系統(tǒng)。

4．所有面板均配備吹掃閥，可實(shí)現(xiàn)對面板的清洗置換。

5．壓力調(diào)節(jié)器及相關(guān)管件均需牢固的固定在壓力調(diào)節(jié)面板上，面板應(yīng)設(shè)計(jì)的緊湊而合理，以盡量減少系統(tǒng)中的死體積。

6．壓力調(diào)節(jié)面板應(yīng)采用全不銹鋼材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，確保其安全性。

7．氣瓶間內(nèi)存放的氣瓶采用帶防倒鏈的氣瓶支架固定，氣瓶支架堅(jiān)固耐用、美觀大方。氣瓶支架采用鋁合金制作而成。

8．氣瓶間內(nèi)的氣體鋼瓶與壓力調(diào)節(jié)器之間采用SS316L高壓金屬軟管連接無滲透。高壓軟管為柔性軟管，以保證連接的方便性。并自導(dǎo)防護(hù)鋼纜，預(yù)防極端情況下，鋼瓶閥損壞等現(xiàn)象帶來的高壓“抽鞭”事故。壓力調(diào)節(jié)器與316L衛(wèi)生級不銹鋼管道的連接方式為雙環(huán)卡套。

9．高壓軟管上的鋼瓶接頭必需與鋼瓶角閥的規(guī)格相匹配，以確保連接的可靠性。

10．排空氣路應(yīng)分類收集、固定牢固并排放至室外安全地點(diǎn)。

二、終端布局

1．系統(tǒng)設(shè)置為二次減壓系統(tǒng)。終端采用壁掛式設(shè)計(jì)。上設(shè)有壓力調(diào)節(jié)器、輸出壓力指示計(jì)、緊急切斷閥，同一氣路的呈上下對應(yīng)排布，方便操作。面板為不銹鋼產(chǎn)品，具體位置參見圖紙，具體配置情況如下：壁掛式終端標(biāo)準(zhǔn)型26套注：該終端可以實(shí)現(xiàn)在室內(nèi)對設(shè)備的壓力調(diào)節(jié)、輸出壓力的監(jiān)控及氣路開關(guān)控制，省去了每日往返于氣瓶間和實(shí)驗(yàn)間的奔波，提高了辦事效率。

2．控制終端上的氣體出口尺寸要與分析儀的氣體入口尺寸相對應(yīng)。氣體出口接頭還應(yīng)方便安裝。

三、氣路的布線

1．氣瓶間內(nèi)壓力調(diào)節(jié)面板與實(shí)驗(yàn)室內(nèi)的氣路終端之間選用SS316LBA管進(jìn)行連接，316L衛(wèi)生級不銹鋼管道內(nèi)表面光潔度為Ra<0.4umBA級316L衛(wèi)生級不銹鋼管道。

2．4N氮?dú)庵鞴芫€采用OD3/8”（6.35mm）的316L衛(wèi)生級不銹鋼管道，0.5Mpa壓力下流量可達(dá)8M3/小時，完全滿足常規(guī)用氣需求，支線采用OD1/4”（6.35mm）的316L衛(wèi)生級不銹鋼管道。用焊接三通分出支路來對設(shè)備進(jìn)行供氣。

3．5N氮?dú)狻⒑狻㈩A(yù)留氣主管線采用OD1/4”（6.35mm）的316L衛(wèi)生級不銹鋼管道，支線采用OD1/4”（6.35mm）的316L衛(wèi)生級不銹鋼管道。用焊接三通分出支路來對設(shè)備進(jìn)行供氣。

4．316L衛(wèi)生級不銹鋼管道穿過障礙物時須使用管套并采用不可燃材料填充間隙。

5．316L衛(wèi)生級不銹鋼管道之間采用最先進(jìn)的美國全自動定位軌道式氬弧焊機(jī)進(jìn)行內(nèi)外保護(hù)氬弧焊（TIG）方式連接，其優(yōu)點(diǎn)是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不會再內(nèi)表面產(chǎn)生氧化層或褶皺等焊接缺陷。

6．管路上的三通全部采用焊接三通來實(shí)現(xiàn)連接，可更有效保證氣體的傳輸質(zhì)量。

7．316L衛(wèi)生級不銹鋼管道需用固定卡具固定在316L衛(wèi)生級不銹鋼管道支架上。316L衛(wèi)生級不銹鋼管道支架為槽鋼結(jié)構(gòu)美觀大方。與墻體和316L衛(wèi)生級不銹鋼管道固定牢固。且為耐火材料（鋁合金）制成。

8．氣體管路在鋪設(shè)過程中要做到橫平豎直，為保證316L衛(wèi)生級不銹鋼管道走線的直線度和316L衛(wèi)生級不銹鋼管道間的間距，每間隔一定距離應(yīng)設(shè)置一組管卡。卡具應(yīng)由不燃材料制作而成，美觀大方。

9．應(yīng)盡量減少彎曲以防止被傳輸?shù)臍怏w壓力、流量損失過大。壓力316L衛(wèi)生級不銹鋼管道拐彎應(yīng)力集中區(qū)應(yīng)有安全加固，設(shè)計(jì)合適的拐彎半徑，彎曲部位不能有皺折及扭曲。彎曲半徑和彎曲質(zhì)量由專用工具保證。系統(tǒng)布線應(yīng)盡量減少接縫以降低泄漏的可能性。

10．配管時的每根316L衛(wèi)生級不銹鋼管道每個管件均要用高壓的5N高純氮?dú)膺M(jìn)行吹掃才能接入系統(tǒng)，整個系統(tǒng)安裝完畢后還要用5N的高純氮進(jìn)行大流量氣體吹掃，以確保系統(tǒng)的潔凈度即流出的氣體無油脂及明顯的固體顆粒物流出。

11．系統(tǒng)安裝完畢后要用高純氮?dú)膺M(jìn)行高壓部分、低壓部分氣密性實(shí)驗(yàn)，對整個系統(tǒng)進(jìn)行檢測。

12．壓力調(diào)節(jié)面板和氣路控制終端上粘貼氣路編號、氣體種類、濃度等標(biāo)識。